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笔下小说>纳米技术光刻机>第24章 分布任务着手研发

第24章 分布任务着手研发(第2页)

不说那繁琐的步骤,就说很多器械,也不是他一个人能操作的。

而且,别看源计划项目组的人很多。

但真要将任务分配出去,这点人,还远远不够。

众所周知,光刻机是一种用于芯片制造的关键设备,也被称为曝光机。

光学光刻是一种用光将掩模图案投影复制的技术。

集成电路就是由投影曝光装置制成的,将具有不同掩模图案的图形成像至基底上,制造集成电路、薄膜磁头、液晶显示板,或微机电等一系列结构。

在集成电路制造工艺中,光刻是决定集成电路集成度的核心工序,在整个硅片加工成本中占到13,可以说是半导体制造中最重要的一步。

所以,光刻机的纳米程度,决定了最后的芯片能达到何等高度。

粗略看了一下名单后,李星的心里,已经有了大致的规划。

现场总共有二十多位工程师。

但大家所侧重的方面,都不一样。

比如,其中有超过一半的工程师,研究所侧重的点,属于紫外光源方面。

而只有少部分工程师,研究的重点在对准系统上。

光刻机其实看似简单,只有两个核心部分,紫外光源和对准系统。

但零部件却高达上万。

这些零部件,都有极高的要求,稍微有一个地方出错,就满盘皆输。

有几个最关键的部分,是大多数国家无法造出光刻机的原因。

比如光源。

光刻机要求发出的光源,必须足够‘纯净’和‘稳定’。

也就是说,光源必须发出能量且稳定。

并且,光谱必须是很窄很窄的紫光,这样才能保证加工精度和精度的稳定性。

还有一个难点,就是测量台和曝光台的移动控制。

因为两个部件是联动的,所以二者的移动同步性和精确性要求十分高,要达到纳米的精度。

因此,对控制移动的超精度测量器与控制技术,要求极高。

还有一点就是物镜。

犹豫加工的对象是纳米量级的精度,所以物镜对制造材料和制造精度都有极高的要求。

其中包括材料的纯度,镜面曲度的加工精度,抛光度、镜片厚度的均匀度等。

在心里大致罗列了一下技术难点后,李星看向了众多工程师。

“诸位,解下来我的这个决定,大家可能会觉得不舒服!”

“但我希望,诸位能按照我的意思来,想要研发出1纳米光刻机,需要诸位的齐心协力!”

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